什么是汞燈標準光譜?汞燈光譜波長范圍是多少?下文就為大家簡單那的介紹一下汞燈的光譜線波長情況,對汞燈光譜感興趣的小伙伴,趕快來看看吧!
汞燈標準光譜是什么?
利用汞放電時產生汞蒸氣獲得可見光的電光源。汞燈可分為低壓汞燈、高壓汞燈和超高壓汞燈三種。
汞燈標準光譜橫坐標是波長,縱坐標是光幅(強度)。
關于X光,汞燈光譜中包含有X光,但強度已經很小了,達不到應用水平。其實可以看到,KrF,ArF的強度也不大,所以在早期i線的光刻機上用的是汞燈,而DUV的光刻機用的是準分子激光。實驗室中的汞燈一般為線光譜。
汞燈光譜波長范圍:
藍光為:
△491.60 強?
△496.03 中
汞燈主要光譜線波長表
顏色 波長/nm 強度?
紫色 △404.66 強?
△407.78 中?
410.81 弱?
433.92 弱?
434.75 中?
△435.84 強?
藍綠色 △491.60 強?
△496.03 中?
綠色 535.41 弱?
536.51 弱?
△546.07 強?
567.59 弱?
黃色 △576.96 強?
△579.07 強?
585.92 弱?
589.02 弱?
橙色 △607.26 弱?
△612.33 弱?
紅色 △623.44 中?
深紅色 △671.62 中?
△690.72 中?
708.19 弱
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